空気を加熱するのをやめよう：半導体の加熱におけるより賢い方法 従来の対流式オーブンについて正直に言えば、それは単なる巨大な箱に過ぎず、わずかなウエハーを適切な温度にするために、中のすべての空気分子を加熱しているのです。これは大変なエネルギーの無駄遣いです。 私たちはもっと良い方法を見つけました。部...

なぜウェーハの硬化処理にIRを採用するのか これまでのやり方について話しましょう。長年にわたり、私たちは大きな対流式オーブンや強力な化学薬品を使ってウェーハを乾燥させてきました。確かにそれでうまくいきましたが、非効率的でした。 今では、「グリーン」や「無鉛」というのは、単なる規制を満たすためのもの...

リソグラフィーの工程では、フォトレジストを加熱する際にわずか0.5度でも温度がズレるだけで、制御されていた線幅が不安定になってしまいます。そうした状況では、一定の設定値を維持することは不可能です。そのため、私たちは赤外線加熱モジュールを開発しました。これにより、工程中の温度が一定範囲内に保たれ、シ...