クリーンルームで使うカートを「スペースヒーター」のように使うのはやめましょう。 半導体ウェハーを移動させる際、適切な温度を保つことは非常に重要です。長年にわたり、対流式のヒーターが使われてきました。しかし問題点は、これらのヒーターは周囲のすべてを加熱してしまうことです。その結果、カート自体が巨大な...

断片の発生を防ぐ：IRランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量生産の半導体製造ラインでは、たった1つの部品の故障だけで、その日の作業が台無しになってしまう。ここで言うのは、IRランプが壊れることです。そうなると、単に電球が壊れただけではなく、石英の破片や金属粉が基板に降り注ぎます。まさ...