熱を無駄にしないで：なぜ金メッキされたツインチューブ型ランプが効果的なのか 半導体ウェーハを加熱する際には、1ワットというエネルギーも大切です。 標準的な石英ランプの問題点は、放射線があらゆる方向に放出されることです。高価なエネルギーの多くがチャンバーの壁に当たってしまい、無駄になってしまいます。...

ファブの現場では、フォトレジストの処理中に生じる温度変動は、目で見る前に感じ取れるものです。オーバーレイがずれ始めたり、CDのコントロールが乱れたりします。また、ソフトベイクやハードベイクのプロファイルも不安定になります。そうなると、生産効率も同様に低下してしまいます。 内部で重要なのは何か 私た...