ファブの加熱を正しく行うために（トラブルなしで） スマートファブを構築する際、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことに気づいているでしょう。デジタル制御と相性が良いため、高効率な赤外線システムが主流になっています。しかし問題は、配線が溶けてしまったら、どんなに高度な技術でも意味がないということで...

なぜ半導体ヒーターにおいて絶縁性能が重要なのか 半導体ヒーターでは、「十分であればよい」というわけにはいきません。絶対的な精度が求められます。もし熱電対にわずかな電気的漏れがあっても、ウェーハが破壊されたり、停止時間を許されない状況下で安全回路が作動してしまったりします。 私たちは、このような環境...

半導体の加熱過程での汚染を防ぐために もしクラス100のクリーンルームを使用しているなら、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。本当の問題は、目に見えないものです。 ほとんどの赤外線ランプは問題を引き起こします。そのコーティングが剥がれ落ちたり、石英自体が高温で破壊されてしまい...

空気を加熱するのをやめよう：半導体の加熱におけるより賢い方法 従来の対流式オーブンについて正直に言えば、それは単なる巨大な箱に過ぎず、わずかなウエハーを適切な温度にするために、中のすべての空気分子を加熱しているのです。これは大変なエネルギーの無駄遣いです。 私たちはもっと良い方法を見つけました。部...

クリーンルームで使うカートを「スペースヒーター」のように使うのはやめましょう。 半導体ウェハーを移動させる際、適切な温度を保つことは非常に重要です。長年にわたり、対流式のヒーターが使われてきました。しかし問題点は、これらのヒーターは周囲のすべてを加熱してしまうことです。その結果、カート自体が巨大な...

製造現場では、24時間365日稼働するため、温度の変動を許容できません。95℃でのソフトベイク、110℃でのハードベイク——これらの温度設定によって、線幅の制御や不良率の管理が可能になります。もし温度の均一性が±0.5℃を超えてしまうと、CDの劣化やスカムの発生につながります。 私たちが開発したサ...

Role ファブフロアでは、ウェーハ乾燥やフォトレジストベーク中の0.1℃のドリフトが、クリティカルディメンションを規格外にしてしまうのに十分です。結果はご存知の通り—スクラップが発生し、ラインは停止します。検査ツールのヒーターは追加装置ではなく、プロセスを確実に維持するための熱的アンカーであり、...