半導体の加熱過程での汚染を防ぐために
もしクラス100のクリーンルームを使用しているなら、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。本当の問題は、目に見えないものです。
ほとんどの赤外線ランプは問題を引き起こします。そのコーティングが剥がれ落ちたり、石英自体が高温で破壊されてしまい、微小な粒子がシリコンウェーハに付着してしまいます。これは本当に厄介な問題です。
なぜ金を使用するのか
私たちは、このような問題を防ぐために、石英の表面に高純度の金コーティングを施しました。金は酸化しないため、優れています。安価な反射材のように劣化することがないのです。激しい高温にさらされても、金は安定した状態を保ちます。
赤外線放射を目的の場所に正確に送り届け、ランプ本体にエネルギーが無駄になることがありません。
材料に関する詳細
コア部分は高純度の合成石英です。加熱時に何も混入しないようにしています。ウェーハに奇怪な化学的痕跡が残ったりすることはありません。純粋な熱だけが得られます。
金コーティングは真空蒸着法によって行われます。これにより、しっかりとした接着力が生まれます。温度が急激に変化しても、コーティングは剥がれ落ちたりしません。300mmのウェーハを扱う際には、わずか数ミクロンの金コーティングが、チップが廃棄されるのを防ぎます。
注意すべき点
金コーティングされたランプは最もクリーンな選択肢ですが、少し扱いにくい面もあります。まず、コーティングされた表面に直接手を触れないようにしてください。少しの皮脂でも、最初の加熱時に金を腐食させてしまい、「ホットスポット」が発生します。これは簡単に犯しがちな間違いですが、大きな損失を招く可能性があります。
また、金が熱の放出方法に影響を与えるため、PIDコントローラーの調整が必要になるかもしれません。そうしないと、目標温度を超えてしまう可能性があります。
最後に、専用の電源を使用しましょう。これにより、電圧が安定し、フィラメントが早期に消耗するのを防げます。