IRランプ用アルミニウム反射板
ウェーハ処理におけるチューブの故障という悪夢を止めよう
高負荷の運転中にIRランプが破損したことがある人なら、単に停止時間だけが問題ではないことを知っているでしょう。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハに降り注ぎ、それはまさに汚染の大惨事です。
私たちは、このような事態を防ぐ方法を見つ...
IRエミッタ用セラミックエンドキャップ
なぜ無鉛のIR硬化処理にセラミック製のエンドキャップを使用するのか
半導体業界では、「グリーン」で無鉛の基準へと移行しようとしています。これは良い動きです。私たちの多くは、従来の化学的乾燥法に含まれる有害なVOCや重金属を排除できるため、赤外線を利用した硬化処理に切り替えています。
しかし、このプ...