半導体ヒーター用熱電対

なぜ半導体ヒーターにおいて絶縁性能が重要なのか 半導体ヒーターでは、「十分であればよい」というわけにはいきません。絶対的な精度が求められます。もし熱電対にわずかな電気的漏れがあっても、ウェーハが破壊されたり、停止時間を許されない状況下で安全回路が作動してしまったりします。 私たちは、このような環境...