フォトレジスト焼成ランプ

ファブラインでは、フォトレジストの焼成処理は単なる工程の一つに過ぎません。実際には、重要な寸法制御を維持するための「熱的な支柱」として機能します。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃の偏差が生じるだけで、全体的なリソグラフィーの精度が悪化してしまいます。そうなると、工程は規格を守るどころか、規格か...