なぜ、私たちは真空状態で動作する赤外線ヒーターのテストにこだわるのか？ 真空環境というのは、常識を覆すものです。チャンバー内の空気を取り除くと、電気の挙動が通常とは異なってしまいます。普通の部屋では、空気が自然な絶縁体として機能しますが、真空状態ではその保護層がなくなります。そうなると、アークを起...

300mmラインでは、ソフトベイクは任意ではなく、熱予算そのものである。ウェハ全体で2℃の変動があると、CDがナノメートル単位で変化し、真空チャンバーはそのドリフトを悪化させるだけだ。私たちはその変動を排除するために真空チャンバー用のIRヒーターを開発し、リソグラフィーや薄膜処理で求められる温度の...