オーブンを待つのはやめましょう：なぜIR加熱が効果的なのか もしまだ熱風循環式のオーブンを使っているのであれば、それは単に待つだけの作業に過ぎません。空気を温めてから、その空気がウェーハを温めるのを待つわけです。これは非常に非効率的です。半導体製造工場では、このような遅れが致命的です。 私たちは、...

ファブ内での無駄な電力消費を止めましょう。 正直言って、ウェーハ製造において電力を無駄にすることは、単なるお金の無駄遣いに他なりません。高功率の赤外線ランプを使って加熱や硬化処理を行う際、そのエネルギーの大部分は無駄になってしまいます。それは廃熱として放出されたり、表面で反射されてしまったりします...

ヒーターによって生産効率が低下するのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その悩みはご存知でしょう。わずかなほこりやガスの発生だけで、生産効率が急激に低下してしまいます。本当にイライラします。特に、ウェーハや半導体部品を乾燥させるために使う装置自体が、作業場内に微粒子...

ウエハー製造におけるチューブの破損という悪夢を止めるために 正直に言えば、高負荷の半導体製造環境では、赤外線ランプが破損するというのは単なる「技術的な障害」以上の問題です。それはまさに災害です。 石英管が壊れると、単に生産が停止するだけでなく、ガラスの破片やハロゲンガスがウエハーに降り注ぎます。一...

ファブのIRランプに適したクォーツガラスシールドの選び方 半導体の乾燥処理を行う場合、現在ではIR硬化が最も理想的な方法です。なぜでしょうか？それは、有害な溶剤を使わずに済み、また、莫大な電力を消費することもないからです。 しかし、注意点があります。IRランプをそのまま放置してはいけません。そこで...

破片の発生を防ぐ：IRランプが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法 正直言って、半導体製造工場では、ランプが壊れるというのは単なる「技術的なトラブル」に過ぎません。それはまさに悪夢です。 一瞬前まではすべて正常だったのに、次の瞬間には石英の破片や金属の粒子がウェーハの上に降り注ぎます。これは単...

はじめに さっそく本題に入りましょう。私たちがこれらの赤外線加熱ランプを開発したのは、ファブのエンジニアたちに、高性能と予算の両方を満たす選択肢を提供するためです。 私たちは、大手国際ブランドと同等のスペクトラル純度や加熱力を実現しつつ、高価な価格を回避しようとしました。これは単なる安価な代替品で...

リソグラフィーの工程では、フォトレジストを加熱する際にわずか0.5度でも温度がズレるだけで、制御されていた線幅が不安定になってしまいます。そうした状況では、一定の設定値を維持することは不可能です。そのため、私たちは赤外線加熱モジュールを開発しました。これにより、工程中の温度が一定範囲内に保たれ、シ...

フロア上では、トラッカーが一定のリズムを刻み続けている。クリーンルームの空気が肌に触れ、その緊張感も感じ取れる。あるオーブンがドリフトを始めている。ボート全体の温度分布が広がり、フォトレジストのプロファイルが傾き始めている。歩留まりが低下し、その様子をリアルタイムで見ている状態だ。 多くの場合、根...