オーブンを待つのはやめましょう：なぜIR加熱が効果的なのか もしまだ熱風循環式のオーブンを使っているのであれば、それは単に待つだけの作業に過ぎません。空気を温めてから、その空気がウェーハを温めるのを待つわけです。これは非常に非効率的です。半導体製造工場では、このような遅れが致命的です。 私たちは、...

半導体の加熱過程での汚染を防ぐために もしクラス100のクリーンルームを使用しているなら、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。本当の問題は、目に見えないものです。 ほとんどの赤外線ランプは問題を引き起こします。そのコーティングが剥がれ落ちたり、石英自体が高温で破壊されてしまい...

なぜ半導体製造ラインで防水型の赤外線ランプを使用するのか 半導体製造における洗浄・乾燥工程について話しましょう。もし実際にその工程で働いたことがある人なら、これが全体の工程を遅らせる要因だということを知っているでしょう。つまり、ボトルネックとなっているのです。 この問題を解決するために、防水型の赤...

クリーンルームを火災の危険源にしないようにしましょう。 クリーンルームで赤外線ランプを使用する際の現実として、通常は可燃性の化学薬品を使って作業を行います。揮発性の蒸気と高熱源を狭い空間に閉じ込めると、通常のランプは単なる道具ではなく、むしろ危険因子となります。 これを解決するために、全体を保護用...

なぜ、ホットエアを使わずにオゾンフリーの赤外線を利用するのか？ 正直に言って、半導体の加工にホットエアを使うのは非効率的です。速度が遅すぎるのです。要するに、空気を加熱して、その空気が部品を加熱するのを待つということです。これは中間過程であり、多くの時間が無駄になります。 オゾンフリーの赤外線ラン...

熱を無駄にしないで：なぜ金メッキされたツインチューブ型ランプが効果的なのか 半導体ウェーハを加熱する際には、1ワットというエネルギーも大切です。 標準的な石英ランプの問題点は、放射線があらゆる方向に放出されることです。高価なエネルギーの多くがチャンバーの壁に当たってしまい、無駄になってしまいます。...

ウェーハの硬化処理において、重要なのは完璧な温度を維持することです。そのために、高強度のランプや反射板が使用されます。しかし、問題は、これほど多くの高電圧を狭い空間に閉じ込めると、電気の漏れが起きやすくなるという点です。適切に対処しなければ、大変なトラブルにつながります。 なぜすべてのランプをテス...

ウェーハ処理におけるチューブの故障という悪夢を止めよう 高負荷の運転中にIRランプが破損したことがある人なら、単に停止時間だけが問題ではないことを知っているでしょう。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハに降り注ぎ、それはまさに汚染の大惨事です。 私たちは、このような事態を防ぐ方法を見つ...

バイオセンサーで正しい温度制御を実現するために バイオセンサーを作る際、温度管理が最も重要です。わずかに温度が外れてしまうと、タンパク質が結合しなかったり、試薬が適切に反応しなかったりします。これは本当に厄介な問題です。 そのため、私たちは高強度の赤外線ランプを使用しています。対流式オーブンで空気...

ファブのIRランプに適したクォーツガラスシールドの選び方 半導体の乾燥処理を行う場合、現在ではIR硬化が最も理想的な方法です。なぜでしょうか？それは、有害な溶剤を使わずに済み、また、莫大な電力を消費することもないからです。 しかし、注意点があります。IRランプをそのまま放置してはいけません。そこで...

私たちが開発したウェーハ乾燥用ランプは、アメリカや日本のトップブランドにも対抗できるものです。目的は単純です。同じような高い熱性能と信頼性を提供しつつ、高価格ではないのです。つまり、品質や安定性を犠牲にすることなく、直接交換可能な装置として機能し、生産ラインを止めることなく稼働させ続けることができ...

ファブラインでは、フォトレジストの焼成処理は単なる工程の一つに過ぎません。実際には、重要な寸法制御を維持するための「熱的な支柱」として機能します。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃の偏差が生じるだけで、全体的なリソグラフィーの精度が悪化してしまいます。そうなると、工程は規格を守るどころか、規格か...

ファブの現場では、ご存知の通り、フォトレジストの焼成時に0.5℃の温度変動があるだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまい、リソグラフィーの要件を満たせなくなってしまいます。そのため、赤外線ランプを固定するクリップは、単なる支持部品ではありません。それは、ウェハ全体の温度を±0.1℃以内...

300mmラインにおいて、洗浄後の水跡は全ロットを破損させるのに十分です。私たちは、その失敗モードを排除するために、脱イオン水乾燥ランプを開発しました。これにより、フィルム残留物や粒子の飛散なしで、制御された蒸発を実現します。 技術的に重要なこと このランプは、短波赤外線エミッターを密閉されたクリ...