古い方法を捨てる：IRを用いたMEMSウェーハの乾燥 MEMSセンサーを製造する際、ウェーハ上の水分を取り除くのはかなり難しい作業です。水分をすばやく除去する必要がありますが、温度制御を間違えると、材料に負荷がかかり、一連の工程が台無しになってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線ランプを...

なぜウェーハの硬化処理にIRを採用するのか これまでのやり方について話しましょう。長年にわたり、私たちは大きな対流式オーブンや強力な化学薬品を使ってウェーハを乾燥させてきました。確かにそれでうまくいきましたが、非効率的でした。 今では、「グリーン」や「無鉛」というのは、単なる規制を満たすためのもの...

ウェーハの硬化処理において、重要なのは完璧な温度を維持することです。そのために、高強度のランプや反射板が使用されます。しかし、問題は、これほど多くの高電圧を狭い空間に閉じ込めると、電気の漏れが起きやすくなるという点です。適切に対処しなければ、大変なトラブルにつながります。 なぜすべてのランプをテス...

ウェーハをきれいに保つために：ランプの破損に関する真実 大量のウェーハを生産している場合、その恐ろしい状況はよくご存知でしょう。ランプが破損してしまうのです。 問題は単に停止時間だけではありません。実際には、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度破損すれば、全ての...

実際には、リソグラフィ装置ではドリフトを許容できません。ソフトベイク時の2℃程度の温度変動によってフォトレジストの厚さが変わり、ハードベイク時には残留応力がフィルム内に残ってしまいます。これは単なる理論上の話ではありません。実際には、廃棄されるウェーハや仕様を満たせない製品、計画外の停止時間が発生...

パッケージングラインにおいて、わずかな温度変動だけで、得られる利益がすべて失われてしまいます。無鉛はんだを使用する場合、再現性の高い温度管理が不可欠ですが、従来の加熱方式では温度が不安定になり、粒子の発生によって良品率が低下してしまいます。ウェーハレベルでの予熱は、正確で、クリーンで、信頼性の高い...

ファブの現場では、温度の変動は単なる監視対象のパラメータに過ぎません。実際には、それが歩留まり低下の直接的な原因となります。フォトレジストのソフトベイク時に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法精度が乱れてしまいます。また、フィルム中に溶剤が残っていると、エッジ部分にしずく状のものができ、結果とし...

製造現場において、ソフトベイクやハードベイクの際の温度の変動は、単に工程が止まるだけではありません。実際には、不良品が発生する原因となります。ソフトベイク時の温度が低すぎると、レジスト内に溶剤が残ってしまいます。一方、ハードベイク時の温度が高すぎると、レジストが流れてしまい、パターンがぼやけてしま...