製造現場において、ソフトベイクやハードベイクの際の温度の変動は、単に工程が止まるだけではありません。実際には、不良品が発生する原因となります。ソフトベイク時の温度が低すぎると、レジスト内に溶剤が残ってしまいます。一方、ハードベイク時の温度が高すぎると、レジストが流れてしまい、パターンがぼやけてしまいます。その結果、ワークが廃棄されたり、再作業が必要になったり、無駄なエネルギー消費が発生します。
技術的に重要な点 私たちは、全工程を通じてウェーハ全体の温度を±0.1°C以内に保つウェーハヒーターを開発しました。これにより、フォトレジストのベイキングが再現可能になり、重要な寸法のコントロールも安定します。高速応答機能により、厳密な温度制御が可能であり、かつクリーンルームのクラス1～100でも粒子を発生させない設計です。24時間365日稼働可能で、計画外の停止もありません。また、低エネルギーで動作するため、温度の安定性を損なうことなく消費電力を削減できます。
リソグラフィーにおいて重要なのは、バッチごとに一定のベイキング条件を維持することです。このヒーターにより、設定温度を安定させることができるので、ソフトベイク時には均一に乾燥し、ハードベイク時にはレジストが流れずに固定されます。これにより、再作業が減少し、歩留まりが向上し、信頼性の高い工程が実現します。
エネルギー節約は、効率的な加熱と、温度上昇や冷却時の無駄を減らすことによって実現されます。これにより、運用コストが削減され、かつ工程の精度も維持されます。
設置と適合性確認 設置にあたっては、既存の装置の仕様やユーティリティとの互換性を確認する必要があります。当社では、接続図やピン対ピンの互換性に関するドキュメントを提供しているので、直接改造することが可能です。
具体的なレジストやベイキングスケジュールを確定するために、短時間の試験運転を行うことをお勧めします。この装置は耐久性が高いですが、温度サイクルがあるため、定期的な校正が必要です。他の重要なセンサーと同じように扱うべきです。