ヒーターによって生産効率が低下するのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その悩みはご存知でしょう。わずかなほこりやガスの発生だけで、生産効率が急激に低下してしまいます。本当にイライラします。特に、ウェーハや半導体部品を乾燥させるために使う装置自体が、作業場内に微粒子...

空気を加熱するのをやめよう：半導体の加熱におけるより賢い方法 従来の対流式オーブンについて正直に言えば、それは単なる巨大な箱に過ぎず、わずかなウエハーを適切な温度にするために、中のすべての空気分子を加熱しているのです。これは大変なエネルギーの無駄遣いです。 私たちはもっと良い方法を見つけました。部...

製造現場において、ソフトベイクやハードベイクの際の温度の変動は、単に工程が止まるだけではありません。実際には、不良品が発生する原因となります。ソフトベイク時の温度が低すぎると、レジスト内に溶剤が残ってしまいます。一方、ハードベイク時の温度が高すぎると、レジストが流れてしまい、パターンがぼやけてしま...