ウェーハ加熱時の安全距離

なぜウェーハの硬化処理にIRを採用するのか これまでのやり方について話しましょう。長年にわたり、私たちは大きな対流式オーブンや強力な化学薬品を使ってウェーハを乾燥させてきました。確かにそれでうまくいきましたが、非効率的でした。 今では、「グリーン」や「無鉛」というのは、単なる規制を満たすためのもの...