はじめに 実のところ、私たちがEUVレジスト加熱装置の部品を製造する理由は、ただ一つです。それは、お客様のリソグラフィー装置が常に正常に動き続けるようにするためです。停止時間も問題もないのです。 仕様は厳しく、許容範囲も極めて狭い上、使用環境も過酷です。そのため、私たちは24ヶ月間の徹底的な品質保...

実際には、リソグラフィ装置ではドリフトを許容できません。ソフトベイク時の2℃程度の温度変動によってフォトレジストの厚さが変わり、ハードベイク時には残留応力がフィルム内に残ってしまいます。これは単なる理論上の話ではありません。実際には、廃棄されるウェーハや仕様を満たせない製品、計画外の停止時間が発生...