古い方法を捨てる：IRを用いたMEMSウェーハの乾燥 MEMSセンサーを製造する際、ウェーハ上の水分を取り除くのはかなり難しい作業です。水分をすばやく除去する必要がありますが、温度制御を間違えると、材料に負荷がかかり、一連の工程が台無しになってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線ランプを...

水素センサーのヒーターが爆発しないようにするために 水素センサーを製造する際には、適切な温度管理が何よりも重要です。材料同士を結合させ、センシング要素を安定させるためには熱が必要です。私たちのヒーターは高い熱負荷に耐えられるように設計されていますが、正直なところ、私たちを悩ませるのは熱そのものでは...

ウェーハをきれいに保つために：ランプの破損に関する真実 大量のウェーハを生産している場合、その恐ろしい状況はよくご存知でしょう。ランプが破損してしまうのです。 問題は単に停止時間だけではありません。実際には、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度破損すれば、全ての...