古い方法を捨てる：IRを用いたMEMSウェーハの乾燥 MEMSセンサーを製造する際、ウェーハ上の水分を取り除くのはかなり難しい作業です。水分をすばやく除去する必要がありますが、温度制御を間違えると、材料に負荷がかかり、一連の工程が台無しになってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線ランプを使用しています。 一般的な対流式オーブンを考えてみてください。1枚のウェーハを乾燥させるためだけに、空気や壁、部屋全体が加熱されてしまいます。これは無駄遣いです。一方、赤外線ランプは異なります。直接ウェーハ表面に熱を当てるので、中間媒体は不要です。 その物理的原理は実にシンプルです。 このランプは電力を放射熱に変換します。大量のエネルギーを狭い範囲に集中させることで、数秒以内に水分を表面から蒸発させることができます。ウェーハ周辺の空気を温める必要がないため、エネルギーの無駄遣いもありません。これが「環境に優しい」という点です。無駄な熱が少なくなれば、二酸化炭素の排出量も減ります。それだけです。 次に、装置自体についてです。 私たちは高純度の石英の中にタングステンフィラメントを入れてこのランプを製造しています。より効果的に機能させるために、石英に特殊なコーティングを施します。これが秘密のポイントで、エネルギーが水滴に直接作用し、シリコン基板に浸透しないようにしています。 ただし、注意点があります。電力の出力を上げすぎると、ランプのハウジングの冷却が大変になります。そうなると、コネクタが溶けてしまい、誰もが避けたい問題が発生します。