極端紫外線 EUV レジストヒータ部品

はじめに 実のところ、私たちがEUVレジスト加熱装置の部品を製造する理由は、ただ一つです。それは、お客様のリソグラフィー装置が常に正常に動き続けるようにするためです。停止時間も問題もないのです。 仕様は厳しく、許容範囲も極めて狭い上、使用環境も過酷です。そのため、私たちは24ヶ月間の徹底的な品質保...