工業用ウェーハヒーター工場

ファブの現場では、温度の変動は単なる監視対象のパラメータに過ぎません。実際には、それが歩留まり低下の直接的な原因となります。フォトレジストのソフトベイク時に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法精度が乱れてしまいます。また、フィルム中に溶剤が残っていると、エッジ部分にしずく状のものができ、結果とし...