アクセルシス ヒーターエレメント 予備品

ファブフロアでは、フォトレジストの焼成中に数度の温度ドリフトが「小さな逸脱」ではありません。それはクリティカルディメンションの均一性に直接影響を与え、ウェハを廃棄品に押しやります。Axcelisのサーマルモジュールが目標を外し始めると、生産ラインは停止します—ウェハはその場で待機し、サーマルバジェ...