ヒーターによって生産効率が低下するのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その悩みはご存知でしょう。わずかなほこりやガスの発生だけで、生産効率が急激に低下してしまいます。本当にイライラします。特に、ウェーハや半導体部品を乾燥させるために使う装置自体が、作業場内に微粒子...

古い方法を捨てる：IRを用いたMEMSウェーハの乾燥 MEMSセンサーを製造する際、ウェーハ上の水分を取り除くのはかなり難しい作業です。水分をすばやく除去する必要がありますが、温度制御を間違えると、材料に負荷がかかり、一連の工程が台無しになってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線ランプを...

私たちが開発したウェーハ乾燥用ランプは、アメリカや日本のトップブランドにも対抗できるものです。目的は単純です。同じような高い熱性能と信頼性を提供しつつ、高価格ではないのです。つまり、品質や安定性を犠牲にすることなく、直接交換可能な装置として機能し、生産ラインを止めることなく稼働させ続けることができ...

300mmラインにおいて、洗浄後の水跡は全ロットを破損させるのに十分です。私たちは、その失敗モードを排除するために、脱イオン水乾燥ランプを開発しました。これにより、フィルム残留物や粒子の飛散なしで、制御された蒸発を実現します。 技術的に重要なこと このランプは、短波赤外線エミッターを密閉されたクリ...