ヒーターによって生産効率が低下するのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その悩みはご存知でしょう。わずかなほこりやガスの発生だけで、生産効率が急激に低下してしまいます。本当にイライラします。特に、ウェーハや半導体部品を乾燥させるために使う装置自体が、作業場内に微粒子を放出してしまう場合は問題です。
そのため、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを採用しました。
秘密は石英にあります。
私たちが使用しているのは、不純物がほとんど含まれていない融解石英です。なぜかというと、高温になると安価な材料は金属イオンや有機化合物を放出してしまいます。これは良くありません。一方、石英は酸化したり剥がれ落ちたりすることはありません。
また、石英は放射熱を利用します。直接基板に熱が当たり、周囲の空気に影響を与えないので、層流状態が維持されます。
速度は非常に重要です。
これらのランプは、迅速に加熱できるように設計されています。フィラメントを真空中またはハロゲンガスが充填された石英管に収めることで、強力な短波長のIR放射が得られます。数秒で表面を乾燥させることができます。もう、数分も待つ必要はありません。
ただし、注意点があります。パワー密度をしっかり管理しましょう。短い管を通じて過度な電力を供給すると、深刻な熱フラックスが発生します。筐体の冷却能力がそれに対応できるか確認してください。そうでないと、機械のフレームが変形してしまう可能性があります。
製造ラインに組み込む方法
これらのランプは、乾燥モジュールの簡単な交換部品として設計されています。
ほとんどの場合、シール部分が問題になります。私たちは、漏れを防ぎ、微粒子の侵入を防ぐ専用のエンドキャップを使用してこの問題を解決しました。
最後に、石英は高温になると膨張します。電気接点が硬すぎると、ランプが振動したり、サイクル中にアークが発生したりする可能性があります。そのため、スプリング式のホルダーを使用することをお勧めします。これにより、接続がしっかり保たれ、電力が安定し、予期せぬ停止が起こることなく生産ラインが稼働し続けます。