クリーンルーム設備のアップグレードが進行中

破片の発生を防ぐ：IRランプが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法 正直言って、半導体製造工場では、ランプが壊れるというのは単なる「技術的なトラブル」に過ぎません。それはまさに悪夢です。 一瞬前まではすべて正常だったのに、次の瞬間には石英の破片や金属の粒子がウェーハの上に降り注ぎます。これは単...