ウェーハ処理装置用温度センサー

ウェーハをきれいに保つために：ランプの破損に関する真実 大量のウェーハを生産している場合、その恐ろしい状況はよくご存知でしょう。ランプが破損してしまうのです。 問題は単に停止時間だけではありません。実際には、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度破損すれば、全ての...