オーブンを待つのはやめましょう：なぜIR加熱が効果的なのか もしまだ熱風循環式のオーブンを使っているのであれば、それは単に待つだけの作業に過ぎません。空気を温めてから、その空気がウェーハを温めるのを待つわけです。これは非常に非効率的です。半導体製造工場では、このような遅れが致命的です。 私たちは、...

ウェーハの硬化処理において、重要なのは完璧な温度を維持することです。そのために、高強度のランプや反射板が使用されます。しかし、問題は、これほど多くの高電圧を狭い空間に閉じ込めると、電気の漏れが起きやすくなるという点です。適切に対処しなければ、大変なトラブルにつながります。 なぜすべてのランプをテス...