ウェーハの硬化処理において、重要なのは完璧な温度を維持することです。そのために、高強度のランプや反射板が使用されます。しかし、問題は、これほど多くの高電圧を狭い空間に閉じ込めると、電気の漏れが起きやすくなるという点です。適切に対処しなければ、大変なトラブルにつながります。 なぜすべてのランプをテス...

ウェーハ処理におけるチューブの故障という悪夢を止めよう 高負荷の運転中にIRランプが破損したことがある人なら、単に停止時間だけが問題ではないことを知っているでしょう。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハに降り注ぎ、それはまさに汚染の大惨事です。 私たちは、このような事態を防ぐ方法を見つ...