省エネ型ウェーハヒーター

製造現場において、ソフトベイクやハードベイクの際の温度の変動は、単に工程が止まるだけではありません。実際には、不良品が発生する原因となります。ソフトベイク時の温度が低すぎると、レジスト内に溶剤が残ってしまいます。一方、ハードベイク時の温度が高すぎると、レジストが流れてしまい、パターンがぼやけてしま...