ファブ内での無駄な電力消費を止めましょう。
正直言って、ウェーハ製造において電力を無駄にすることは、単なるお金の無駄遣いに他なりません。高功率の赤外線ランプを使って加熱や硬化処理を行う際、そのエネルギーの大部分は無駄になってしまいます。それは廃熱として放出されたり、表面で反射されてしまったりします。本当にもどかしいですよね。
私たちは、この問題を解決する方法を見つけました。その秘訣は、反射器に高純度の金コーティングを施すことです。
なぜ金なのか？
確かに、アルミニウム製の反射器でも機能はします。しかし、赤外線領域では性能が低下します。一方、金は長波長の赤外線を非常に効果的に反射できます。
つまり、光子がランプの内部に戻ってしまうのではなく、金がそれらを直接ウェーハに向けて反射するのです。そうすることで、より集中したエネルギーがウェーハに与えられます。これにより、過度に電圧を上げることなく、必要な熱量を得ることができます。
熱に関する注意点
ただし、こんなに多くのエネルギーを一点に集中させると、その場所が急速に高温になってしまいます。ハードウェアの限界を無視してはいけません。冷却システムが十分に機能しているかを確認する必要があります。もし放熱装置が周囲の温度をコントロールできなければ、部品が変形したり、フィラメントが損傷したりする可能性があります。これは強力なツールなので、丁寧に扱う必要があります。
実際の使用方法
これらは、既存のIRアレイの簡単な置き換え品として設計されています。全体のシステムを再構築する必要はありません。
目的は単純です。ウェーハ1枚あたりの消費電力を減らしつつ、作業の速度を落とさないことです。
エネルギー代の削減はすぐに実感できます。確かに、金コーティングには初期投資がかかりますが、大量生産を行うファブにとっては、電気代の節約や熱の均一性の向上によるメリットが大きいです。
つまり、ウェーハに届く前に、1ワット毎の効率を最適化することが重要なのです。