半導体クリーンルーム用トロリーオーブン

クリーンルームで使うカートを「スペースヒーター」のように使うのはやめましょう。 半導体ウェハーを移動させる際、適切な温度を保つことは非常に重要です。長年にわたり、対流式のヒーターが使われてきました。しかし問題点は、これらのヒーターは周囲のすべてを加熱してしまうことです。その結果、カート自体が巨大な...