ファブの加熱を正しく行うために（トラブルなしで）
スマートファブを構築する際、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことに気づいているでしょう。デジタル制御と相性が良いため、高効率な赤外線システムが主流になっています。しかし問題は、配線が溶けてしまったら、どんなに高度な技術でも意味がないということです。 そのため、半導体ヒーターの接続には、テフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用しています。
なぜテフロンか？PVCは溶けてしまうからです。
正直に言って、普通のPVCやシリコン製の配線は、赤外線放射源の近くにあるとすぐに壊れてしまいます。テフロンは違います。他のプラスチックが溶けてしまうような高温でも、強度を保ちます。また、クリーンルームでは、配線から有害なガスが発生してウェーハが損傷することがあってはいけません。PTFEはそれを防ぎます。さらに、ケーブルの配線を整然と保つことができ、突然の短絡の心配もありません。
赤外線とデジタル制御の素晴らしさ
赤外線システムの最大の利点は、その精度の高さです。短波長の赤外線を使用することで、ほぼ即座に反応します。 これは、物事の動作方式において大きな変化です。PLCが温度の低下を検知すると、赤外線システムは数ミリ秒以内に反応します。待つ必要も、推測する必要もありません。センサーの信号をリアルタイムで受け取るだけです。
デメリット（パンフレットには書かれていないこと）
もちろん、完璧というわけではありません。高密度の赤外線アレイは、電力供給に大きな負担をかけます。 また、テフロンは加熱には最適ですが、シリコンよりも硬いため、急に曲げたり、狭い場所に押し込んだりすると、ケーブルに負担がかかります。ケーブルの配線を段階的に、滑らかに行う必要があります。無理に曲げると、接続部分で機械的な故障が起こります。 私たちは、古い抵抗式ヒーターがあった場所に直接設置できるように設計しました。そうすれば、より迅速に加熱ができ、データも中央システムに送信されます。そして、配線が溶ける心配もなくなります。