웨이퍼 제조 과정에서 에너지를 낭비하지 마세요. 솔직히 말해서, 웨이퍼 제조 과정에서 에너지를 낭비하는 것은 그냥 돈을 버리는 행위에 불과합니다. 고출력 적외선 램프를 사용하여 웨이퍼를 가열하거나 경화시킬 때, 엄청난 양의 에너지가 그냥 낭비됩니다. 이 에너지는 열로 방출되거나 표면에서 반사되어 사라집니다. 정말 짜증나는 일입니다.
우리는 이 문제를 해결할 방법을 찾아냈습니다. 그 비결은 반사판에 고순도 금 코팅을 하는 것입니다.
왜 금일까요? 물론 알루미늄 반사판도 작동은 합니다. 하지만 적외선 스펙트럼 처리에는 한계가 있습니다. 반면 금은 장파장 적외선을 매우 효과적으로 반사할 수 있습니다.
간단히 말해, 광자들이 램프 내부로 다시 반사되어 온도가 상승하는 대신, 금은 그 광자들을 직접 웨이퍼 쪽으로 보냅니다. 그 결과, 에너지가 더 집중적으로 전달됩니다. 따라서 전압을 최대치로 올릴 필요 없이도 원하는 정도의 열을 얻을 수 있습니다.
열 관리에 대한 주의사항 문제는, 이렇게 많은 에너지를 한 점에 집중시키면 그 부분의 온도가 급격히 상승한다는 것입니다. 하드웨어의 한계를 간과해서는 안 됩니다. 반드시 쿨링 시스템이 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 만약 열교환기가 주변 온도를 조절할 수 없다면, 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 이는 강력한 도구이므로 반드시 신중하게 다뤄야 합니다.
실제 적용 방법 우리는 이 제품을 간단하게 만들었습니다. 기존의 IR 배열을 그대로 대체할 수 있습니다. 전체 설비를 다시 구축할 필요가 없습니다.
목표는 간단합니다: 웨이퍼당 소모되는 전력을 줄이면서도 가동 시간을 줄이지 않는 것입니다.
에너지 비용도 곧 달라질 것입니다. 물론 금 코팅에는 초기 비용이 더 듭니다. 하지만 대량 생산을 하는 공장의 경우, 전기비 절감과 열 균일성 향상으로 인한 이익이 그 비용을 충분히 상쇄할 것입니다.
중요한 것은, 웨이퍼에 도달하기 전에 모든 에너지를 효율적으로 활용하는 것입니다.