Hentikan proses pemanasan udara: Cara yang lebih efisien untuk menguruskan haba pada semikonduktor
Mari kita akui bahawa ketuhar konvensional sebenarnya merupakan kotak besar yang memanaskan setiap molekul udara di dalamnya, hanya untuk membawa wafer ke suhu yang diinginkan. Ini merupakan pembaziran tenaga yang besar.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik. Daripada memanaskan seluruh bilik, kami menggunakan lampu inframerah berfrekuensi tinggi untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Ini sama seperti beralih daripada penghangat ruangan biasa kepada lampu pemanas—anda tidak perlu lagi memanaskan dinding mesin tersebut, sebaliknya tenaga tersebut digunakan untuk tujuan yang sebenarnya.
Kehebatan haba radiasi
Lampu inframerah berfrekuensi tinggi berfungsi dengan frekuensi yang lebih tinggi. Ini bermakna tenaga tersebut tidak hanya berada di permukaan, tetapi juga dapat menembusi substrat tersebut. Dengan cara ini, suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan lebih cepat. Dalam “Pabrik Hijau”, setiap kilowatt-jam sangat penting. Dengan menggunakan lampu berkekuatan tinggi, kita dapat mengurangkan penggunaan tenaga. Ia sangat cepat. Dan ini akan mengubah angka bil elektrik anda.
Apa yang ada di dalam lampu tersebut?
Kami tidak mengambil risiko dalam pembuatan lampu ini. Kami menggunakan selubung kuarsa berkualiti tinggi serta sistem halogen untuk memastikan filamen lampu tetap berfungsi dengan baik. Gas halogen merupakan unsur penting—ia mencegah tungsten daripada menguap terlalu cepat. Tanpanya, tiub lampu akan menjadi gelap dan kehilangan fungsinya. Selain itu, kami juga menggunakan lapisan khusus untuk menyesuaikan panjang gelombang cahaya. Kita ingin agar silikon atau bahan fotoresist menyerap haba, bukannya memantulkannya kembali ke peralatan.
Cabaran dalam integrasi
Anda tidak boleh sekadar menukar mentol lampu dan menganggapnya selesai. Anda perlu mempertimbangkan sistem tenaga yang digunakan. Lampu berkuasa tinggi ini memerlukan arus yang banyak setiap kali ia dihidupkan. Jika anda tidak memastikan bekalan tenaga dan pengawal PID dapat menghadapi lonjakan arus tersebut, maka pemutus litar akan terus tersumbat.
Selain itu, perlu juga diperhatikan sistem penyejukan. Lampu inframerah menghasilkan haba yang sangat tinggi. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, hujung lampu akan terbakar, atau lebih buruk lagi, tiub kuarsa akan retak akibat tekanan yang tinggi.
Namun, apabila semuanya disesuaikan dengan baik, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer akan berkurangan. Ini bermakna kurang karbon dioksida yang dilepaskan ke udara untuk setiap unit yang diproses. Ini merupakan cara yang lebih efisien untuk bekerja.