用于晶圆的精密红外传感器

正确控制晶圆加热温度 在处理晶圆时， “差不多” 的做法是行不通的。必须确保整个晶圆表面的温度都保持一致。为此，我们使用了镀金反射器。 其实，重点不在于让设备看起来更美观，而在于确保每一瓦特的能量都能准确地照射到晶圆上。 为什么选择黄金？ 普通铝制反射器的效果不错，但它们会吸收过多的红外能量。这就...