Správné použití křemenných skleněných štítů u infračervených lamp v továrnách na výrobu polovodičů
Pokud uvažujete o sušení pomocí polovodičů, pak je infračervené zahřívání v současnosti téměř zlatým standardem. Proč? Protože umožňuje vyhnout se škodlivým rozpouštědelům a zároveň zabrání plýtvání obrovským množstvím energie.
Ale existuje jeden problém: nemůžete prostě nechat své infračervené lampy bez ochrany. Právě zde přicházejí na řadu křemenné skleněné štíty. Ty udržují lampy čisté a zajišťují, aby teplo působící na wafer bylo správné.
Materiály
Volíme vysokokvalitní spálený křemen – má to svůj důvod. Umožňuje krátkovlnnému infračervenému záření projít skrz něj, aniž by pohlcovalo teplo. Pokud byste chtěli použít běžné sklo, buď by se rozbilo hned, jakmile by se začalo zahřívat, nebo by blokovalo právě ty vlnové délky, které jsou potřebné k zahřátí waferu.
Považujte tyto štíty za „strážce“ lamp. Zabraňují tomu, aby do jejich obalu pronikly cizí částice nebo chemické plyny. Bez nich se vaše lampy zažehnou mnohem rychleji, než by měly.
Bez olova – a proč to funguje
Staromódní sušicí pece jsou v podstatě obrovské konvekční boxy. Jsou pomalé, nemotorné a spotřebovávají hodně energie.
Infračervené záření je jiné – jedná se o přímé záření, které okamžitě dopadne na cíl. Díky své efektivitě nemusíte spoléhat na toxické stabilizátory nebo přísady na bázi olova, které dříve sloužily k urychlení procesu. Je to prostě čistší způsob práce.
Problém s instalací
Při zapojování těchto systémů je velmi důležitá vzdálenost mezi lampou a křemenným štítem. Pokud jsou příliš blízko, dojde k tepelnému šoku a křemen se roztříští. Pokud jsou příliš daleko, ztratíte tu správnou hustotu tepla a proces se zpomalí. Je to tedy otázka vyvážení.
Ještě jedna věc – křemen odolává teplu, ale je křehký. Pokud uděláte chybu při instalaci, křemen se roztříští. Vždy doporučuji znovu zkontrolovat úchyty, zda nenastávají vibrace. Pokud se podlaha v továrně trochu třese, použijte tlumené podpěry. To vám ušetří problémy spojené s nahrazováním roztříštěných štítů a také sníží spotřebu energie, což potěší inspektory životního prostředí.