オーブンを待つのはやめましょう：なぜIR加熱が効果的なのか
もしまだ熱風循環式のオーブンを使っているのであれば、それは単に待つだけの作業に過ぎません。空気を温めてから、その空気がウェーハを温めるのを待つわけです。これは非常に非効率的です。半導体製造工場では、このような遅れが致命的です。
私たちは、その中間工程をなくすために、認定済みの赤外線（IR）加熱ランプを使用しています。対流ではなく、放射によって加熱するのです。
熱を適切な場所に送る
赤外線ランプは電磁波を放出し、それが直接基板に当たります。部屋全体が一定の温度になるのを待つ必要はありません。エネルギーは瞬時に基板に伝わります。
これにより、かつて数分かかっていた加熱時間が数秒に短縮されます。IRシステムを使えば、従来の強制送風式オーブンに見られる遅れがなくなります。
ウェーハの処理量が増え、スペースも節約できる
熱風式のオーブンは大きくて重いです。ブロワーや熱交換器を設置するために広いスペースが必要です。
一方、赤外線ランプは小さくて軽いです。工具ラインの中に簡単に設置できます。また、実際に加熱したい部分だけを加熱し、部屋全体を温める必要はありません。
計算は簡単です。加熱サイクルが速ければ、1時間あたりに処理できるウェーハの数も増えます。滞在時間が短くなれば、1個あたりのコストも下がります。当然のことです。
ただし、注意点もある
もちろん、IRも万能ではありません。熱が素早く伝わるため、PIDコントローラーの設定が不十分だと、目標温度を超えてしまう可能性があります。
また、熱の漏れにも注意が必要です。ケースの換気が適切でなければ、自分の電子機器が壊れてしまう可能性があります。十分な冷却ファンが必要です。そうでなければ、ランプが早期に故障してしまいます。
私のアドバイスです。高速応答型の熱電対を併用し、ランプとウェーハの距離を狭く保つことです。そうすれば、放射エネルギーを最大限に活用できます。