ウェーハの硬化処理において、重要なのは完璧な温度を維持することです。そのために、高強度のランプや反射板が使用されます。しかし、問題は、これほど多くの高電圧を狭い空間に閉じ込めると、電気の漏れが起きやすくなるという点です。適切に対処しなければ、大変なトラブルにつながります。
なぜすべてのランプをテストするのか？
私たちは「バッチサンプリング」は行いません。それは、ハードウェアを危険にさらすような人々のやり方です。代わりに、工場を出る前に、すべてのランプ管に対して耐電圧試験や絶縁抵抗試験を行います。100％に対してです。 なぜでしょうか？ウェーハの処理においては、絶縁体に微小な穴があったり、石英に微細な亀裂があったりするだけで、大惨事につながります。アークが発生し、単にフューズを交換するだけでは済まず、コントローラーボードが破壊されたり、さらに悪いことに、イオン化した粒子がウェーハを破壊してしまう可能性もあります。 私たちはテスト時に絶縁体に極限まで負荷をかけることで、実際の生産ラインでも問題なく動作するようにしています。
高電圧の影響への対処法
短波長の硬化ランプは、安定して動作するために大量のエネルギーが必要です。このようなランプを機械に接続すると、絶縁体は加熱や膨張、そして大きな電流の負荷に耐えなければなりません。もし絶縁体が弱ければ、そのランプはもはやツールではなく、むしろ危険な存在になってしまいます。 私たちのテストにより、電流が正しくフィラメント回路内に留まっていることを確認します。反射板や機械の筐体に電流が漏れ出さないようにするのです。
熱の問題
厳格なテストによって不良品を排除できますが、一度ランプが機械内に設置されると、熱が真の敵となります。これらのランプは莫大な量の熱エネルギーを放出します。 もし冷却システムが環境に見合っていなければ、数千時間が経つうちに絶縁体がダメになってしまいます。私たちは工場で電気的安全性を確保しますが、お客様も機械が十分に冷却されるようにしなければなりません。