
Dlaczego przechodzimy na utwardzanie promieniowaniem podczerwonym dla płytek krzemowych
Porozmawiajmy o starej metodzie. Przez lata polegaliśmy na ogromnych piecach konwekcyjnych i mieszance mocnych chemikaliów do suszenia płytek. Funkcjonowało to, oczywiście, ale było to mało wydajne. Obecnie przechodzenie na „zielone” rozwiązania lub rozwiązania bez ołowiu to nie tylko checkbox do zaznaczenia przez jakiegoś regulatora. Chodzi o pozbycie się tych niebezpiecznych lotnych związków organicznych (VOC) i rzeczywiste zmniejszenie śladu węglowego w sali czystej. To po prostu ma sens.
Jak naprawdę działa promieniowanie podczerwone
Pomyśl o piecu konwekcyjnym. Nagrzewasz powietrze, a potem czekasz, aż to powietrze nagrzeje płytkę. To powolne. To marnotrawstwo. Lampy podczerwone są inne. Wykorzystują promieniowanie elektromagnetyczne, aby bezpośrednio oddziaływać na powierzchnię płytki. Nie trzeba już nagrzewać gigantycznej metalowej skrzynki i powietrza wokół niej, aby wykonać pracę. Jaki jest rezultat? Proces utwardzania następuje niemal natychmiast. Zwiększa się szybkość produkcji, a rachunek za prąd maleje. To korzyść dla wszystkich.
Ustalenie właściwych parametrów bez toksyn
Stara metoda utwardzania zwykle polegała na użyciu rozpuszczalników, które trzeba było „spalać” przy bardzo wysokiej temperaturze. Z promieniowaniem podczerwonym możemy dostosować długość fali. Możemy skupić się na konkretnych częściach fotoopornika lub kleju, które potrzebują ciepła, bez niszczenia samego substratu krzemowego. Ponieważ metoda ta jest tak precyzyjna, nie ma ryzyka uwalniania toksycznych oparów do pomieszczenia. Ponadto oznacza to, że możemy przestać używać stabilizatorów na bazie ołowiu w środkach utwardzających. To bardziej ekologiczny sposób pracy.
Kompromisy (ponieważ nic nie jest doskonałe)
Oto problem. Systemy o dużej intensywności emitują mnóstwo ciepła w bardzo małym obszarze. Jeśli chłodzenie nie jest dobrze dostosowane, masz problemy. Płytka może się zdeformować, a łącza lampy mogą się stopić. Zawsze istnieje konflikt pomiędzy szybkością a równomiernością. Jeśli umieścisz lampę bliżej płytki, proces utwardzania będzie szybszy. Ale istnieje też ryzyko powstania „gorących punktów”. Musisz znaleźć optymalną odległość – dokładną odległość bezpieczeństwa – aby wszystko przebiegało równomiernie. Stworzyliśmy te systemy jako zamienniki dla tych zużywających dużo energii starych pieców. Masz więcej miejsca na podłodze i mniej pieniędzy wychodzących z twojego konta bankowego. To proste.