Wafer’in Doğru şekilde Isıtılması
Wafer işlemlerinde “yeterince iyi” olmak yeterli değildir. Tüm yüzeyde sıcaklığın eşit olması gerekiyor. Bunu sağlamak için altın kaplı yansıtıcılar kullanılır.
Burada önemli olan, donanımın görsel olarak şık görünmesi değil; her bir watt gücünün gerçekten wafer’e ulaşmasıdır.
Neden altın?
Standart alüminyum yansıtıcılar kabul edilebilir olsa da, çok fazla kızılötesi enerjiyi emerler. Bu, bir topu süngerden sekmeye çalışmak gibidir. Altın ise farklıdır; kızılötesi ışığı mükemmel bir şekilde yansıtabilir. Böylece ısı lambanın içine sızmadan doğrudan hedefe yönlendirilir. Böylece daha hassas bir kontrol mümkün olur ve hedef sıcaklığa ulaşmak için daha yüksek güç kullanmanıza gerek kalmaz.
Isı yoğunluğu sorunu
Ancak bir engel daha var: Bu kadar yüksek gücü bu kadar küçük bir alana sığdırdığınızda, işler hızla ısınır. Altın, enerjinin doğru yere gitmesine yardımcı olur; ancak ısıyı tamamen ortadan kaldırmaz. Eğer maksimum verimlilik istiyorsanız, soğutma sistemlerinin bu yükü karşılayabileceğinden emin olmalısınız. Eğer soğutma sistemleri yetersizse, sensörler aşırı ısınır ve sıcaklık ayarları bozulur. Bu da kimse istemediği bir durumdur.
Tavizler
Altın, bunca nedenle altın standarttır; ancak çok yumuşaktır. Eğer bakım ekibi agresif çözücüler veya aşındırıcı maddeler kullanırsa, altın kaplama tamamen zarar görür. Altın gittiğinde verimlilik düşer. Dolayısıyla temas gerektirmeyen temizleme yöntemleri tercih edilmelidir. Yüzey böylece korunmuş olur.
Sonuç olarak bu sistem, wafer’in etrafındaki havayı ısıtarak enerji israfını önler. Enerji tam olarak ihtiyaç duyulan yere yönlendirilir. Bu sayede ısınma süreleri kısalır ve termal gradyanlar stabil kalır. Gerçekten işe yarıyor.