Trong quá trình sản xuất, các thiết bị in ấn bằng phương pháp lithography không thể chịu đựng được sự biến đổi nhiệt độ. Sự chênh lệch nhiệt độ 2°C trong quá trình nung có thể làm thay đổi độ dày của lớp hóa chất sử dụng trong quy trình in. Ngoài ra, việc nung ở nhiệt độ cao cũng có thể gây ra những ứng suất còn sót lại trong lớp vật liệu được in ra. Đó không phải là lý thuyết suông – đó chính là nguyên nhân dẫn đến việc phải loại bỏ các tấm wafer không đạt tiêu chuẩn, hay phải ngừng hoạt động máy móc một cách bất ngờ. Chúng tôi thiết kế các linh kiện dùng để xử lý wafer sao cho có thể duy trì nhiệt độ ổn định trong khoảng ±0.1°C, nhằm đảm bảo mọi quy trình in diễn ra trong vùng nhiệt độ cho phép.
Những yếu tố quan trọng
Các bộ đèn halogen, bộ đèn tia ngắn và tia trung bình của chúng tôi hoạt động rất ổn định, giúp cho quy trình in diễn ra đồng nhất từ lần này sang lần khác. Các thành phần bằng thủy tinh thạch anh và vật liệu sợi carbon giúp giảm thiểu sự hình thành các hạt bụi – điều rất quan trọng trong các phòng sạch loại 1–100. Các thông số kỹ thuật được thiết kế sao cho phù hợp với các máy móc của nhà sản xuất ban đầu; các giắc cắm tiêu chuẩn giúp việc thay thế linh kiện diễn ra nhanh chóng. Kích thước của các linh kiện cũng được kiểm soát chặt chẽ, nhằm đảm bảo sự đồng nhất trong việc lắp đặt và kết nối.
Đó chính là lý do tại sao các linh kiện này có thể hoạt động ổn định trong môi trường sản xuất 24/7. Chúng được thiết kế để hoạt động liên tục, với dữ liệu về tuổi thọ của chúng được ghi nhận trong quá trình sử dụng, và tính ổn định của chúng được kiểm tra qua hàng nghìn giờ hoạt động. Điều này giúp giảm lượng wafer bị hỏng, giảm chi phí sửa chữa, và đảm bảo máy móc hoạt động ổn định trong suốt các chu kỳ bảo trì. Việc kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ cũng giúp giảm mức năng lượng tiêu thụ trên mỗi wafer, từ đó giúp duy trì sự ổn định trong quy trình sản xuất.
Một vài lưu ý thực tế
Khả năng tương thích của các linh kiện này không phải lúc nào cũng tốt. Bạn cần kiểm tra kỹ thông số kỹ thuật của máy móc, hình dạng buồng nung, và phương thức điều khiển trước khi đặt hàng. Một số linh kiện cũ cần phải có bộ chuyển đổi hoặc cần được kiểm tra phần mềm trước khi lắp đặt. Việc lắp đặt khá đơn giản, nhưng bạn luôn cần làm mát lò trước khi thay thế linh kiện. Điều này giúp bảo vệ linh kiện và cả người vận hành máy.