جلوگیری از خراب شدن لامپهای مورد استفاده در فرآیند خشک کردن ویفرها
هنگام کار با ویفرها، در واقع سعی داریم دمای ایدهآلی را حفظ کنیم. برای رسیدن به این هدف، از لامپهای با توان بالا و ضربهگیرهایی استفاده میکنیم که برای انجام کارهای دقیق طراحی شدهاند. اما مشکل اینجاست که وقتی این مقدار بالای توان الکتریکی را در فضای کوچکی قرار میدهیم، خطر نشت الکتریسیته وجود دارد. اگر این موضوع را به درستی مدیریت نکنیم، مشکلات جدی پیش خواهد آمد.
چرا هر لامپ را میآزماییم؟
ما از روش نمونهبرداری گروهی استفاده نمیکنیم؛ چون این روش برای کسانی مناسب است که دوست دارند با تجهیزات خود ریسک کنند. در عوض، هر لامپ قبل از ورود به کارخانه، تحت آزمایشهای مربوط به مقاومت در برابر ولتاژ و عایقبندی قرار میگیرد. ۱۰۰٪ از لامپها این آزمایشها را پشت سر میگذارند.
چرا؟ چون در سیستمهای مربوط به ویفرها، حتی یک سوراخ کوچک در عایق یا یک ترک ریز در کوارتز، میتواند مشکلات جدی ایجاد کند. در این صورت، نه تنها فیوزها خراب میشوند، بلکه بردهای کنترلی نیز آسیب میبینند؛ یا حتی ذرات یونیزه شده میتوانند ویفرها را از بین ببرند.
ما در زمان آزمایش، عایقبندی را تا حد ممکن تحت فشار قرار میدهیم تا وقتی لامپ وارد خط تولید شود، به خوبی کار کند.
مقابله با فشارهای ناشی از ولتاژ بالا
لامپهای مورد استفاده در فرآیند خشک کردن، برای حفظ پایداری، به مقدار زیادی انرژی الکتریکی نیاز دارند. وقتی این لامپها به سیستمهای مربوطه متصل میشوند، عایقبندی باید بتواند در برابر گرمای شدید، انبساط و بار الکتریکی سنگین مقاومت کند. اگر عایقبندی ضعیف باشد، لامپ دیگر ابزاری مفید نخواهد بود؛ بلکه منبع خطر خواهد بود.
آزمایشهای ما مطمئن میشوند که جریان الکتریکی دقیقاً در مسیر مناسب خود باقی بماند؛ یعنی درون مدار فیلامنت. ما میخواهیم مطمئن شویم که هیچ چیزی به سمت ضربهگیرها یا بدنه دستگاه نشت نکند.
واقعیت مربوط به گرما
البته، آزمایشهای دقیق میتوانند مشکلات را شناسایی کنند؛ اما وقتی لامپ وارد دستگاه شد، گرما واقعیترین دشمن خواهد بود. این لامپها مقدار زیادی انرژی حرارتی تولید میکنند.
اگر سیستم خنککننده دستگاه برای محیط مورد نظر کافی نباشد، این گرما در طول چند هزار ساعت، عایقبندی را از بین خواهد برد. ما در کارخانه، ایمنی الکتریکی را تأمین میکنیم؛ اما شما باید مطمئن شوید که دستگاه دارای سیستم خنککننده کافی برای حفظ سرمای لازم باشد.