نگهداری ویفرها در حالت تمیز: واقعیت مربوط به انفجار لامپها
اگر شما در حال تولید ویفرها با بار سنگین هستید، قطعاً از پیامدهای ناشی از انفجار لامپها آگاهید. این موضوع فقط مربوط به توقف فعالیتهای تولیدی نیست؛ بلکه مشکلات ناشی از آن نیز وجود دارد. وقتی که پوشش کوارتزی لامپ خراب میشود، تکههای شیشه و رشتههای تونگستن روی ویفرها میافتند. در چنین شرایطی، کل محموله تولید شده بیارزش میشود. این واقعاً یک فاجعه است.
ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی برای جلوگیری از این مشکل کردهایم؛ عمدتاً از طریق بازنگری در نحوه ساخت این لامپها.
مقابله با گرما
ما از کوارتز با خلوص بالا برای ساخت پوشش لامپها استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده میتواند گرمای زیاد را تحمل کند. دماها به سرعت در حال تغییر هستند، و اکثر مواد در چنین شرایطی خراب میشوند.
اما مشکل اینجاست که چگالی گرمای بالا، فشار زیادی بر روی پوشش لامپ وارد میکند. برای جلوگیری از خرابی لامپ، ما از پوششهای محافظ یا لایههای ویژه استفاده میکنیم. این پوششها مانند یک تور محافظ عمل میکنند؛ اگر لوله داخلی لامپ خراب شود، تکههای شیشه درون پوشش باقی میمانند و روی ویفرها نمیافتند.
جزئیاتی که واقعاً اهمیت دارند
محل اتصال لامپ به بدنه دستگاه، معمولاً جایی است که مشکلات ایجاد میشود. ما از درپوشهای دقیق برای اطمینان از اتصال مناسب استفاده میکنیم.
اما باید مراقب باشید؛ اگر لامپها را تا حداکثر توان خود کاربرد دهید، اتصالات آنها بسیار گرم میشوند. باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده به خوبی کار میکند. اگر اتصالات بیش از حد گرم شوند، پوشش لامپ خراب میشود و این موضوع منجر به خرابی لامپ میشود.
تعادل در عملکرد لامپها
البته، استفاده از پوششهای محافظ یا لایههای ویژه، باعث میشود مقدار کمی از انرژی مادون قرمز به ویفرها نرسد؛ در نتیجه، درصد کمی از انرژی از دست میرود.
برای جبران این مشکل، ممکن است مجبور شوید توان لامپها را افزایش دهید یا زمان تولید ویفرها را بیشتر کنید. این یک تعادل ساده است: شما کمی زمان بیشتری برای تولید ویفرها صرف میکنید، تا مجبور نباشید نگران خرابی لامپها باشید.
یک نکته دیگر: مراقب کوارتز باشید؛ به دنبال لکهها یا تغییر رنگ آن باشید. وقتی کوارتز شروع به تغییر کند، دیگر استحکام خود را از دست میدهد. نباید منتظر انفجار آن باشید؛ بهتر است زودتر آنها را تعویض کنید.