真空チャンバー赤外線ヒーター

300mmラインでは、ソフトベイクは任意ではなく、熱予算そのものである。ウェハ全体で2℃の変動があると、CDがナノメートル単位で変化し、真空チャンバーはそのドリフトを悪化させるだけだ。私たちはその変動を排除するために真空チャンバー用のIRヒーターを開発し、リソグラフィーや薄膜処理で求められる温度の...