에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

반도체 제조 공정에서, 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 온도가 변동하면 단순히 생산이 중단되는 것에 그치지 않고, 실제적인 결함으로 이어집니다. 소프트 베이크 시 온도가 너무 낮으면 용매가 리젝트 내에 남게 되고, 하드 베이크 시 온도가 너무 높으면 액체가 흘...