半导体洁净室推车式加热器

别再把洁净室中的运输车变成“加热器”了 在搬运半导体晶圆时，保持其处于合适的温度是一个需要精确控制的环节。长期以来，人们通常使用对流式加热器来达到这一目的。但问题在于，这种加热方式会使整个空间都变热。这样一来，运输车就相当于一个巨大的散热器，操作人员在接触其外壳时就有被烫伤的风险。 所以，我们决定...