हम वेफरों के सुखाने हेतु IR तकनीक क्यों अपना रहे हैं?
चलिए, पुरानी विधियों के बारे में बात करते हैं। वर्षों से, हम वेफरों को सुखाने हेतु बड़े-बड़े कन्वेक्शन ओवनों एवं खतरनाक रासायनिक पदार्थों का उपयोग करते रहे हैं। यह तरीका तो काम करता है, लेकिन यह बहुत ही जटिल है।
आजकल, “हरित” या “लीड-मुक्त” तकनीकों का उपयोग करना केवल किसी नियामक की शर्त नहीं है; बल्कि ऐसा करने से हम उन हानिकारक ऑर्गेनिक यौगिकों से छुटकारा पा सकते हैं, एवं क्लीनरूम में कार्बन उत्सर्जन को भी कम कर सकते हैं। यह तो बहुत ही उचित है।
IR तकनीक कैसे काम करती है?
कन्वेक्शन ओवनों में हवा को गर्म किया जाता है, और फिर उस गर्म हवा के द्वारा ही वेफर को गर्म किया जाता है। यह तरीका धीमा है, एवं ऊर्जा की भी बर्बादी होती है।
लेकिन IR लैंपों में विद्युतचुम्बकीय विकिरण का उपयोग किया जाता है, जिससे वेफर की सतह को सीधे ही गर्म किया जा सकता है। इस तरह, बड़े धातु बॉक्सों एवं उनके आसपास की हवा को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
परिणाम? वेफरों को तुरंत ही गर्म किया जा सकता है। इससे उत्पादन दक्षता बढ़ जाती है, एवं बिजली की लागत भी कम हो जाती है। यह तो एक बेहतरीन विकल्प है।
विषाक्त पदार्थों के बिना ही उचित परिणाम प्राप्त करना
पुरानी विधियों में वेफरों को सुखाने हेतु ऐसे विलायकों का उपयोग किया जाता था, जिन्हें अत्यधिक गर्मी से ही नष्ट किया जा सकता था।
लेकिन IR तकनीक में हम तरंगदैर्घ्य को नियंत्रित कर सकते हैं। हम उन हिस्सों को ही गर्म कर सकते हैं, जिन्हें गर्मी की आवश्यकता है… बिना सिलिकॉन सतह को नुकसान पहुँचाए।
चूँकि यह तकनीक बहुत ही सटीक है, इसलिए कोई विषाक्त गैसें भी नहीं निकलतीं। इसके अलावा, अब हमें वेफरों को सुखाने हेतु लीड-युक्त पदार्थों का उपयोग करने की आवश्यकता ही नहीं है। यह तो एक बेहतरीन विकल्प है।
कुछ चुनौतियाँ…
लेकिन यहाँ एक समस्या है – उच्च-तीव्रता वाले IR लैंपों से बहुत ही अधिक गर्मी उत्पन्न होती है।
यदि ठंडक की व्यवस्था ठीक न हो, तो वेफर खराब हो सकते हैं, या लैंपों के कनेक्टर भी पिघल सकते हैं।
गति एवं समानता के बीच हमेशा ही संतुलन बनाना होता है। यदि लैंप को वेफर के बहुत निकट रखा जाए, तो वेफर जल्दी ही गर्म हो जाता है… लेकिन ऐसे में “हॉट स्पॉट” भी बन सकते हैं। हमें ऐसा संतुलन ढूँढना होता है, जिससे सब कुछ संतुलित रहे।
हमने ऐसी ही प्रणालियाँ विकसित की हैं… ताकि वे पुराने, ऊर्जा-खपत वाले ओवनों का विकल्प बन सकें। इससे हमें जगह भी बचती है, एवं बिजली की लागत भी कम हो जाती है। बस इतना ही।