スマートセンサーのパッケージングにおける熱漏れの防止
もし、スマートセンサーのパッケージングのためにウェーハを加熱する作業を経験したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。エネルギーを供給しているにもかかわらず、その半分が無駄になってしまっているように感じます。一般的な反射材は、エネルギーを漏らしたり、不快な低温領域を生み出したりして、一貫性のある処理を妨げます。
私たちは、より良い方法を見つけました。装置と戦うのではなく、高純度の金コーティングを使用して、赤外線を正確にウェーハに向けて送り込むのです。
なぜ金なのか？
それは見た目の問題ではありません。物理的な理由によるものです。赤外線スペクトルにおいて、金は反射率の面で最高の素材なのです。アルミニウムやステンレス鋼は、実際には多くの熱を吸収してしまいます。しかし金はそうではありません。ほぼすべてのエネルギーを元の場所に戻します。これにより、集中した熱源が生まれます。最善の点は、ランプの出力を上げることなく、より強い熱流を得られることです。
熱を適切な場所に留める
私たちは、エネルギーが散乱するのを防ぐためにこのコーティングを設計しました。放射線が機械内部に漏れると、作業環境が高温になり、快適さを損ないます。出力源での反射率を高めることで、周囲の温度を下げ、エネルギーをシリコンに集中させることができます。
ただし、強力な力には学習曲線が伴います。熱が非常に集中しているため、注意が必要です。ウェーハが完全に水平でなかったり、ランプの間隔が少し狂っていると、ホットスポットが発生します。Z軸の高さを正確に調整する必要があります。隙間が狭すぎると表面が焼けてしまいます。逆に広すぎると、再び集中した熱源が得られません。
実際の効果
実際には、これによりラインの立ち上がり時間が大幅に短縮されます。基板が所定の温度に達するのを待つ必要がなくなります。電源を交換したり、電気回路を再構築したりする必要もなく、より効率的にウェーハを処理できるのです。