なぜウェーハの硬化処理にIRを採用するのか
これまでのやり方について話しましょう。長年にわたり、私たちは大きな対流式オーブンや強力な化学薬品を使ってウェーハを乾燥させてきました。確かにそれでうまくいきましたが、非効率的でした。 今では、「グリーン」や「無鉛」というのは、単なる規制を満たすためのものではありません。有害な揮発性有機化合物（VOC）を排除し、クリーンルーム内の二酸化炭素排出量を減らすことが重要です。これは当然のことです。
IRが実際にどのように機能するか
対流式オーブンを考えてみてください。空気を加熱し、その空気がウェーハを温めるのを待つ必要があります。これは遅く、非効率的です。 一方、IRランプは異なります。電磁波を使ってウェーハ表面に直接作用させます。巨大な金属製の容器やその周囲の空気を加熱する必要がないのです。 その結果、瞬時に加熱が行われ、生産効率が向上し、電気代も削減されます。これは双方にとってメリットのある方法です。
毒素を排出しながらも適切な条件を実現する
従来の硬化処理では、極端な高温で溶剤を蒸発させる必要がありました。 しかしIRを使えば、波長を調整して、フォトレジストや接着剤の特定の部分だけを加熱できます。シリコン基板自体を加熱することはありません。 このように正確に制御できるため、有毒なガスが部屋中に放出されることはありません。また、硬化剤に含まれる鉛系安定剤の使用も不要になります。これはよりクリーンな作業方法です。
デメリットもある（完璧なものはないから）
ただし、高強度のIRランプは非常に狭い範囲で大量の熱を発生させます。 冷却装置が適切に機能しなければ、問題が発生します。ウェーハが変形したり、ランプの接続部が溶けてしまったりする可能性があります。 速度と均一性の間には常にバランスを取る必要があります。ランプをウェーハに近づければ、硬化が速くなりますが、「ホットスポット」が発生する危険もあります。すべてが均一になるように、適切な安全距離を見つける必要があります。 私たちは、これらのシステムを、消費電力の多い従来のオーブンの代替品として開発しました。そうすれば、施設のスペースを節約でき、経費も削減できます。簡単ですね。