Tại sao chúng tôi chuyển sang phương pháp sấy khô bằng bức xạ hồng ngoại cho các tấm wafer
Hãy cùng xem xét cách làm truyền thống. Trong nhiều năm qua, chúng ta vẫn sử dụng những lò sấy lớn và các chất hóa học độc hại để sấy khô các tấm wafer. Phương pháp này có hiệu quả, nhưng lại kém hiệu quả về mặt chi phí và gây ô nhiễm môi trường.
Ngày nay, việc sử dụng các phương pháp “xanh” hoặc không chứa chì không chỉ là yêu cầu từ các cơ quan quản lý, mà còn là cách để loại bỏ những chất hóa học độc hại và giảm lượng khí thải carbon trong phòng sạch. Đó là điều rất hợp lý.
Cách thức hoạt động của bức xạ hồng ngoại
Hãy tưởng tượng về một lò sấy thông thường: bạn làm nóng không khí, sau đó chờ không khí đó làm nóng tấm wafer. Quá trình này diễn ra rất chậm và tốn nhiều năng lượng.
Ngược lại, đèn hồng ngoại hoạt động khác. Chúng sử dụng bức xạ điện từ để chiếu trực tiếp lên bề mặt tấm wafer. Không cần phải làm nóng toàn bộ lò sấy hay không khí xung quanh nữa. Kết quả là quá trình sấy diễn ra nhanh hơn, hiệu quả hơn, và chi phí điện cũng giảm xuống. Đó chính là lợi ích của phương pháp này.
Đạt được hiệu suất tốt mà không gây ô nhiễm
Phương pháp sấy truyền thống thường yêu cầu sử dụng các chất dung môi, sau đó phải đốt chúng bằng nhiệt độ cao. Với bức xạ hồng ngoại, chúng ta có thể điều chỉnh bước sóng để tác động chính xác vào những phần cần được sấy, mà không ảnh hưởng đến chất liệu silicon bản thân. Nhờ đó, không còn khí độc hại được thải ra môi trường nữa. Ngoài ra, chúng ta còn có thể ngừng sử dụng các chất ổn định chứa chì trong các chất sấy. Đó là cách làm sạch hơn.
Những hạn chế (bởi vì không có gì là hoàn hảo)
Tuy nhiên, vẫn còn một số hạn chế. Các đèn hồng ngoại có cường độ cao sẽ tạo ra lượng nhiệt lớn trong một không gian nhỏ. Nếu hệ thống làm mát không hoạt động tốt, tấm wafer có thể bị biến dạng hoặc các connector của đèn có thể bị hỏng. Luôn có sự cân bằng giữa tốc độ và độ đồng đều trong quá trình sấy. Nếu đặt đèn quá gần tấm wafer, quá trình sấy sẽ diễn ra nhanh hơn, nhưng cũng tạo ra nguy cơ xuất hiện các điểm nóng. Chúng ta cần tìm ra khoảng cách phù hợp để đảm bảo mọi thứ diễn ra đều đặn.
Chúng tôi đã thiết kế những hệ thống này để thay thế cho những lò sấy tiêu tốn nhiều năng lượng như trước. Bạn sẽ có nhiều không gian hơn trên sàn nhà, và chi phí cũng giảm đi. Đơn giản vậy thôi.