ウェーハ用高精度IRセンサー

ウェーハの加熱を適切に行うためには、「十分に高温になっていればよい」というわけにはいきません。ウェーハの表面全体で、均一な温度が得られる必要があります。そのために、私たちは金メッキされた反射器を使用します。 ここで重要なのは、ハードウェアを見栄えの良いものにすることではありません。重要なのは、1ワ...